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发明名称 FUNCTIONAL ELEMENT HAVING INSULATING MEMBER AND INSULATING MATERIAL AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0870098(A) 申请公布日期 1996.03.12
申请号 JP19940204835 申请日期 1994.08.30
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SHINDOU TAKAHIKO
分类号 H01L27/04;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/822;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
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