| 发明名称 |
HEAT TREATING APPARATUS FOR SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0870007(A) |
申请公布日期 |
1996.03.12 |
| 申请号 |
JP19940204748 |
申请日期 |
1994.08.30 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
HARA TAKASHI |
| 分类号 |
H01L21/22;H01L21/027;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324 |
主分类号 |
H01L21/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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