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经营范围
发明名称
ELECTRON BEAM LITHOGRAPHIC DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0869956(A)
申请公布日期
1996.03.12
申请号
JP19940228693
申请日期
1994.08.30
申请人
SONY CORP
发明人
YOSHIZAWA NORITSUGU
分类号
H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
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