| 发明名称 |
FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0869982(A) |
申请公布日期 |
1996.03.12 |
| 申请号 |
JP19940203444 |
申请日期 |
1994.08.29 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRON CORP |
发明人 |
NAKAMURA AKIRA;EMOTO FUMIAKI;SENDA KOJI |
| 分类号 |
H01L21/285;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/336;H01L21/768;H01L23/52;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/285;H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/285 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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