| 发明名称 |
Device manufacture involving lithographic processing |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
HK34696(A) |
申请公布日期 |
1996.03.08 |
| 申请号 |
HK19960000346 |
申请日期 |
1996.02.29 |
| 申请人 |
AT&T CORP. |
发明人 |
STEVEN DAVID BERGER;JOHN MURRAY GIBSON |
| 分类号 |
G03F1/16;G03F7/20;H01J37/317;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01J37/317;G03F7/12 |
主分类号 |
G03F1/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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