发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0870039(A) 申请公布日期 1996.03.12
申请号 JP19940203371 申请日期 1994.08.29
申请人 NEC CORP 发明人 SHIMIZU TOSHIYUKI
分类号 H01L21/76;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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