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发明名称
THIN FILM GROWING METHOD
摘要
申请公布号
JPH0864538(A)
申请公布日期
1996.03.08
申请号
JP19940196378
申请日期
1994.08.22
申请人
FUJITSU LTD
发明人
OTSUKA NOBUYUKI;MATSUMIYA YASUO;KITAHARA KUNINORI
分类号
C23C16/20;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/205;H01L21/320
主分类号
C23C16/20
代理机构
代理人
主权项
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