| 发明名称 |
REGENERATION METHOD FOR CRYOPUMP AND DEVICE FOR THE SAME |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0861232(A) |
申请公布日期 |
1996.03.08 |
| 申请号 |
JP19940224153 |
申请日期 |
1994.08.24 |
| 申请人 |
EBARA CORP |
发明人 |
NOMICHI SHINJI;HAYAKAWA JUNICHI;AONO HIROSHI |
| 分类号 |
F04B37/08;(IPC1-7):F04B37/08 |
主分类号 |
F04B37/08 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
