发明名称 MICROWAVE INTRODUCTION WINDOW MATERIAL
摘要
申请公布号 JPH0865001(A) 申请公布日期 1996.03.08
申请号 JP19940201940 申请日期 1994.08.26
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 TERAO KOICHI
分类号 H05H1/46;C23C16/44;H01L21/302;H01L21/3065;H01P1/08;(IPC1-7):H01P1/08 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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