发明名称 THIN FILM SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0864832(A) 申请公布日期 1996.03.08
申请号 JP19940201666 申请日期 1994.08.26
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 TERADA NORIHIRO;HARADA YASUKI
分类号 H01L21/20;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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