| 发明名称 |
METHOD OF DELETING UNNECESSARY SUBSTANCE FROM SUBSTRATE SURFACE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0864559(A) |
申请公布日期 |
1996.03.08 |
| 申请号 |
JP19950132021 |
申请日期 |
1995.05.30 |
| 申请人 |
F S I INTERNATL |
发明人 |
JIEFURII DABURIYU BATAABOO;DEBITSUDO SHII GUREE |
| 分类号 |
C30B33/12;B08B7/00;C03C15/00;C03C23/00;C23C16/02;C23F1/12;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/32;(IPC1-7):H01L21/302 |
主分类号 |
C30B33/12 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
