发明名称 VACUUM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0862399(A) 申请公布日期 1996.03.08
申请号 JP19940200771 申请日期 1994.08.25
申请人 NIKON CORP 发明人 KAGEYAMA MOTOHIDE
分类号 G21K7/00;G03F7/20;H01J37/18;(IPC1-7):G21K7/00 主分类号 G21K7/00
代理机构 代理人
主权项
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