| 发明名称 |
METHOD AND SYSTEM THAT ANALYZE PLASMA DATA |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0862141(A) |
申请公布日期 |
1996.03.08 |
| 申请号 |
JP19950083943 |
申请日期 |
1995.04.10 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
JIYOOJI GOODON JIFUOODO;BUROTSUKU ESUTERU OZUBOON |
| 分类号 |
G01N21/62;G01N21/71;G01N21/73;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/00;(IPC1-7):G01N21/73 |
主分类号 |
G01N21/62 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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