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发明名称 Cible pour installations de pulvérisation cathodique.
摘要
申请公布号 FR2707670(B1) 申请公布日期 1996.03.08
申请号 FR19940008606 申请日期 1994.07.12
申请人 BALZERS AG 发明人 BRACHER BERNHARD
分类号 C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34;C23C14/35 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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