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发明名称 METHOD FOR PRODUCING SILUMIN FOR SEMICONDUCTOR EQUIPMENT
摘要
申请公布号 RU1782053(C) 申请公布日期 1996.03.10
申请号 SU19904867640 申请日期 1990.09.18
申请人 NAUCHNO-PROIZVODSTVENNOE OB"EDINENIE "ELEKTROTEKHNIKA" 发明人 KOZLOV YU.I.;ZENTSOV A.I.;KUZMIN V.L.;UVERSKAYA T.A.
分类号 C22C1/02;(IPC1-7):C22C1/02 主分类号 C22C1/02
代理机构 代理人
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