发明名称 SELECTIVE PROCESS OF USING HYDROCARBON AND HYDROGEN
摘要
申请公布号 JPH0864576(A) 申请公布日期 1996.03.08
申请号 JP19950211298 申请日期 1995.07.28
申请人 MOTOROLA INC 发明人 MAJITSUDO EMU HASHIEMI;JIYONASAN KEE ABUROKUWA;SUTEFUAN PII ROJIYAAZU
分类号 H01L21/302;H01L21/205;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/335;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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