| 发明名称 |
PORTE-SUBSTRAT ELECTROSTATIQUE |
| 摘要 |
<P>L'invention concerne un porte-substrat électrostatique à double face comportant une semelle de maintien (2) assurant le maintien dans une position fixe du substrat (1) par collage électrostatique, cette semelle de maintien (2) étant elle-même rendue solidaire du support (3) par un collage électrostatique.<BR/>Application dans l'industrie électronique.</P>
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| 申请公布号 |
FR2724269(A1) |
申请公布日期 |
1996.03.08 |
| 申请号 |
FR19940010647 |
申请日期 |
1994.09.06 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
PECCOUD LOUISE;PELLEGRIN PHILIPPE |
| 分类号 |
H01L21/683;H02N13/00;(IPC1-7):H02N13/00;H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/683 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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