发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0864687(A) |
申请公布日期 |
1996.03.08 |
申请号 |
JP19940201950 |
申请日期 |
1994.08.26 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD |
发明人 |
KANDA TAKASHI;KATAOKA SHOZO;SUZUMURA MASAHIKO;ONISHI MASAHITO;HAYAZAKI YOSHIKI |
分类号 |
H01L21/762;H01L21/8234;H01L27/088;H01L27/12;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/823 |
主分类号 |
H01L21/762 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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