发明名称 SEMICONDCUTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0864613(A) 申请公布日期 1996.03.08
申请号 JP19940196863 申请日期 1994.08.22
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TOMIOKA TAKESHI
分类号 H01L29/73;H01L21/203;H01L21/31;H01L21/331;H01L29/205;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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