| 发明名称 |
FLOW RATE CONTROLLER FOR GAS SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0864490(A) |
申请公布日期 |
1996.03.08 |
| 申请号 |
JP19940326470 |
申请日期 |
1994.12.27 |
| 申请人 |
MOTOYAMA SEISAKUSHO:KK |
发明人 |
UCHISAWA OSAMU;MURAKAMI KOICHI;YAMASHIMA ATSUSHI |
| 分类号 |
H01L21/02;G05D7/06;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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