ELECTRON BEAM GENERATOR

摘要

Die Erfindung betrifft einen Elektronenstrahl-Erzeuger, bestehend aus einer Kathode (1), einer Anode (3) mit einer Anodenbohrung (4) für den Elektronenstrahl (6) entlang einer Strahlenachse (5) und aus einer zwischen Kathode (1) und Anode (3) angeordneten Wehneltelektrode (2), wobei sich Kathode (1), Anode (3) und Wehneltelektrode (2) in einer Vakuumkammer befinden. Kathode (1) und Wehneltelektrode (2) sind senkrecht zur Strahlenachse (5) verschiebbar, und in der Nähe der Kathode (1) ist eine magnetische Kathoden-Schutzvorrichtung (7) angeordnet, die ein statisches, senkrecht zur Strahlenache (5) verlaufendes transversales Magnetfeld (9) erzeugt. Das Magnetfeld (9) lenkt den Elektronenstrahl (6) aus der Strahlenachse (5) ab, wobei Kathode (1) und Wehneltelektrode (2) entgegen der Ablenkrichtung des Elektronenstrahles (6) derart verschoben sind und/oder die Feldstärke des Magnetfeldes (9) derart gewählt ist, dass der abgelenkte Elektronenstrahl (6) im Bereich der Anode (3) wieder in der Strahlenachse (5) verläuft. Durch diese Massnahmen wird die Anzahl der auf die Kathode (1) auftreffenden, durch Ionisation von Restmolekülen gebildeten Ionen verringert und dadurch in vorteilhafter Weise die Standzeit der Kathode (1) erhöht.