发明名称 Verfahren zur Herstellung einer supraleitenden Dünnschicht aus einer oxidverbindung.
摘要
申请公布号 DE69203294(T2) 申请公布日期 1996.03.07
申请号 DE1992603294T 申请日期 1992.05.20
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD., OSAKA, JP 发明人 NAKANISHI, HIDENORI, C/O ITAMI WORKS OF SUMITOMO, ITAMI-SHI, HYOGO, JP;SHIKATA, SHIN-ICHI, C/O ITAMI WORKS OF SUMITOMO, ITAMI-SHI, HYOGO, JP;ITOZAKI, HIDEO, C/O ITAMI WORKS OF SUMITOMO, ITAMI-SHI, HYOGO, JP
分类号 C23C14/08;C30B29/22;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人
主权项
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