Device for transferring a transport object between two end positions

摘要

Bei einer Einrichtung zur Umsetzung eines Transportobjektes zwischen zwei Endlagen besteht die Aufgabe, auch bei verlängerten Transportwegen sich auf die Zuverlässigkeit und die Reinstraumbedingungen negativ auswirkende Einflüsse bei Gewährleistung einer hohen Flexibilität bei der Umsetzung auszuschließen. Gemäß der Erfindung erfolgt zur Steuerung der Funktionen von Sensoren und Aktoren an einem zur Umsetzung dienenden beweglichen Teil eines Antriebes eine elektrische Kontaktierung dieser Sensoren und Aktoren mit einer Versorgungseinheit (10), die sich in einem feststehenden Teil des Antriebes (7, 41) befindet, ausschließlich in den beiden Endlagen. Die Einrichtung gemäß der Erfindung ist insbesondere zum Einsatz in der Halbleiterfertigung, z. B. zur Beschickung von Halbleiterbearbeitungsmaschinen vorgesehen, jedoch nicht auf dieses Gebiet beschränkt.