发明名称 Ion beam position sensor
摘要
申请公布号 EP0308211(B1) 申请公布日期 1996.03.06
申请号 EP19880308519 申请日期 1988.09.15
申请人 VARIAN ASSOCIATES, INC. 发明人 SZAJNOWSKI, WIESLAW JERZY
分类号 G06F17/10;H01J37/04;H01J37/317;(IPC1-7):G01T1/29 主分类号 G06F17/10
代理机构 代理人
主权项
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