| 发明名称 |
Process for cleaning oxidized metallic surfaces in the fabrication of interconnection networks and boards for such networks |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0518774(B1) |
申请公布日期 |
1996.03.06 |
| 申请号 |
EP19920401628 |
申请日期 |
1992.06.12 |
| 申请人 |
FRANCE TELECOM |
发明人 |
TEMPLIER, FRANCOIS;TORRES, JOAQUIM;PALLEAU, JEAN |
| 分类号 |
H01L21/304;C23C14/02;C23G5/00;H01L21/3205;H01L21/321;H01L21/48;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):C23G5/00;C23C16/50 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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