发明名称 SURFACE INSPECTING APPARATUS.
摘要
申请公布号 EP0606849(A3) 申请公布日期 1996.03.06
申请号 EP19940100117 申请日期 1994.01.05
申请人 FUJI PHOTO FILM CO., LTD. 发明人 TAKAHASHI, IPPEI;SANO, SHOICHI;KUBOTA, TOSHIHARU
分类号 G01B11/30;G01N21/89;G01N21/892;(IPC1-7):G01N21/89 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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