| 发明名称 |
CHEMICAL VAPOR DEPOSITION METHOD OF CHROMIUM-BASE COMPOUND AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0860363(A) |
申请公布日期 |
1996.03.05 |
| 申请号 |
JP19940190416 |
申请日期 |
1994.08.12 |
| 申请人 |
MITSUBISHI HEAVY IND LTD |
发明人 |
MARUYAMA TOMOYOSHI;MEGA MASAHIKO;SHIRATA HARUO |
| 分类号 |
C23C16/18;C23C16/44;C23C16/448;C23C16/455;(IPC1-7):C23C16/18 |
主分类号 |
C23C16/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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