| 发明名称 |
LOCAL ETCHING METHOD AND DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0860383(A) |
申请公布日期 |
1996.03.05 |
| 申请号 |
JP19940198080 |
申请日期 |
1994.08.23 |
| 申请人 |
AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL |
发明人 |
MIKI ICHIJI;ANDO ATSUSHI |
| 分类号 |
C23F1/02;B23H3/00;C25F3/14;H01L21/30;H01L21/306;(IPC1-7):C23F1/02 |
主分类号 |
C23F1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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