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发明名称 METHOD OF REMOVING PARTICLE IN SUPERCRITICAL FLUID BY SOUND WAVE
摘要
申请公布号 JPH0857437(A) 申请公布日期 1996.03.05
申请号 JP19950200165 申请日期 1995.08.07
申请人 TEXAS INSTR INC <TI> 发明人 SHIIN SHII OBURIEN
分类号 B01D21/00;B08B3/12;B08B7/00;H01L21/304;(IPC1-7):B08B3/12 主分类号 B01D21/00
代理机构 代理人
主权项
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