发明名称 DISPOSITIF POUR CHARGER ET DECHARGER DES RETICULES
摘要 <P>Le dispositif de chargement et de déchargement de réticules comprend une cassette (200) ayant une porte de longueur supérieure à la largeur frontale de la cassette (200), un manipulateur (300) ayant une main (310) pour insérer un réticule (100) à l'intérieur de la cassette (200) ou l'en extraire, et une partie d'ouverture et de fermeture destinée à ouvrir et fermer la porte (203). Le capteur (600) de réticule appréhende si il y a ou non un réticule chargé dans la cassette (200). Ainsi le manipulateur (300) peut insérer le réticule à l'intérieur de la cassette (200) ou l'en extraire, après avoir contrôlé si le réticule avait été ou non chargé dans la cassette (200). Ce dispositif empêche toute collision entre le réticule chargé dans la cassette (200) et un autre réticule devant être chargé.</P>
申请公布号 FR2723929(A1) 申请公布日期 1996.03.01
申请号 FR19950010047 申请日期 1995.08.24
申请人 SAMSUNG AEROSPACE INDUSTRIES LTD 发明人 JEE WHON O
分类号 H01L21/027;B65G49/07;G03F7/20;H01L21/00;H01L21/66;H01L21/677;(IPC1-7):B65G49/05;B65D85/86;B65D85/30 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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