发明名称 Verfahren und System zur Herstellung einer supraleitenden Dünnschicht aus Oxyd
摘要
申请公布号 DE69024916(D1) 申请公布日期 1996.02.29
申请号 DE1990624916 申请日期 1990.10.31
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD., OSAKA, JP 发明人 HARADA, KEIZO, C/O ITAMI WORKS OF SUMITOMO ELEC., ITAMI-SHI, HYOGO, JP;ITOZAKI, HIDEO, C/O ITAMI WORKS OF SUMITOMO ELEC., ITAMI-SHI, HYOGO, JP;YAZU, SHUJI, C/O ITAMI WORKS OF SUMITOMO ELEC., ITAMI-SHI, HYOGO, JP
分类号 H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 主分类号 H01L39/24
代理机构 代理人
主权项
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