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发明名称 VERFAHREN ZUR ELIMINIERUNG VON ÄTZSPERREHINTERSCHNEIDUNGEN
摘要
申请公布号 DE69024977(D1) 申请公布日期 1996.02.29
申请号 DE19906024977 申请日期 1990.11.07
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 CRONIN, JOHN, E., MILTON, VT 05468, US;LAKRITZ, MARK, N., NEW WINDSOR, NY 12553, US
分类号 H01L21/306;H01L21/311;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/306;C23F1/02 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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