发明名称 Halbleiterbauelement mit umgekehrt T-förmiger Gatestruktur
摘要
申请公布号 DE3813665(C2) 申请公布日期 1996.02.29
申请号 DE19883813665 申请日期 1988.04.22
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 IZAWA, RYUICHI, KOKUBUNJI, TOKIO/TOKYO, JP;KURE, TOKUO, KOKUBUNJI, TOKIO/TOKYO, JP;IIJIMA, SHIMPEI, AKISHIMA, TOKIO/TOKYO, JP;TAKEDA, EIJI, KOGANEI, TOKIO/TOKYO, JP;IGURA, YASUO, HACHIOJI, TOKIO/TOKYO, JP;HAMADA, AKEMI, TOKOROZAWA, SAITAMA, JP;HIRAIWA, ATSUSHI, KODAIRA, TOKIO/TOKYO, JP
分类号 H01L21/336;H01L29/423;H01L29/49;(IPC1-7):H01L29/78;H01L27/08;H01L21/265 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
地址