发明名称 A method of producing a semiconductor integrated circuit device
摘要
申请公布号 HK27996(A) 申请公布日期 1996.02.23
申请号 HK19960000279 申请日期 1996.02.15
申请人 HITACHI LTD 发明人 KOUSUKE OKUYAMA
分类号 H01L21/8246;H01L27/112;(IPC1-7):H01L27/10;H01L21/82 主分类号 H01L21/8246
代理机构 代理人
主权项
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