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发明名称 Verfahren zur Steuerung der Sauerstoffkonzentration in einem Einkristall.
摘要
申请公布号 DE69019487(T2) 申请公布日期 1996.02.22
申请号 DE19906019487T 申请日期 1990.11.16
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 ODA, TETSUHIRO, TAKEFU-SHI, GUNMA-KEN, JP;SONOKAWA, SUSUMU, TAKEFU-SHI, GUNMA-KEN, JP;OZAKI, ATSUSHI, ANNAKA-SHI, GUNMA-KEN, JP;HISAICHI, TOSHIO, ANNAKA-SHI, GUNMA-KEN, JP
分类号 C30B15/20;C30B15/00;C30B29/06;(IPC1-7):C30B15/00 主分类号 C30B15/20
代理机构 代理人
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