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发明名称 Plasma-Reaktionskammer.
摘要
申请公布号 DE69113231(T2) 申请公布日期 1996.02.22
申请号 DE19916013231T 申请日期 1991.12.20
申请人 THE BOC GROUP, INC., MURRAY HILL, N.J., US 发明人 ROSE, PETER W., SAN CARLOS, CA 94070, US;KAPLAN, STEPHEN L., SAN CARLOS, CA 94070, US
分类号 C23C16/50;H01J37/16;H01J37/32;H05H1/46;(IPC1-7):H01J37/16 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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