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发明名称 Verfahren zur Bildung funktioneller aufgedampfter Filme durch ein chemisches Mikrowellen-Plasma-Aufdampfverfahren
摘要
申请公布号 DE3742110(C2) 申请公布日期 1996.02.22
申请号 DE19873742110 申请日期 1987.12.11
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 SAITOH, KEISHI, NAGAHAMA, SHIGA, JP;HASHIZUME, JUNICHIRO, NAGAHAMA, SHIGA, JP;IIDA, SHIGEHIRA, UENO, MIYE, JP;TAKEI, TETSUYA, NAGAHAMA, SHIGA, JP;ARAI, TAKAYOSHI, NAGAHAMA, SHIGA, JP
分类号 C23C16/511;(IPC1-7):C23C16/50;H01L21/205 主分类号 C23C16/511
代理机构 代理人
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