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<p>Die Erfindung betrifft einen Drehratensensor bestehend aus mindestens zwei Schwingmassen, welche über Federelemente mit einander zu einem schwingungsfähigen System verbunden sind. Aufgabe der Erfindung ist es, den Drehratensensor so auszugestalten, daß die Coriolis-Sensorik von den schwingenden Strukturbereichen weitgehend entkoppelt ist. Gelöst wird diese Aufgabe dadurch, daß die Federelemente und die Schwingmassen so angeordnet und ausgebildet sind, daß das schwingungsfähige System nur Schwingungen in mindestens zwei Schwingungsmoden parallel zur Substratebene ausführen kann.</p> |
