发明名称 Einkristall einer Halbleiterverbindung
摘要
申请公布号 DE69207503(D1) 申请公布日期 1996.02.22
申请号 DE1992607503 申请日期 1992.07.22
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KAISE, TSUNEYUKI, ANNAKA-SHI, GUNMA-KEN, JP;OTAKI, TOSHIO, TAKASAKI-SHI, GUNMA-KEN, JP;IKEDA, JUN, IWAKI-SHI, FUKUSHIMA-KEN, JP
分类号 H01L21/208;C01G15/00;C30B15/00;C30B19/04;H01L21/02;H01L21/20;H01L29/207;H01L33/30;H01L33/40 主分类号 H01L21/208
代理机构 代理人
主权项
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