| 摘要 |
<p>Der Kraft- oder Dehnungssensor besitzt einen Meßkondensator (Mk), dessen kammförmig ausgebildete und ineinandergreifende Elektrodenstrukturen (Es1, Es2) über zwei Befestigungspunkte (Bp1, Bp2) in Abhängigkeit von der zur messenden Kraft (F) oder der zu messenden Dehnung (ε) parallel zueinander verstellbar sind. Die Gesamtkapazität des Meßkondensators (Mk) ist durch eine Parallelschaltung einzelner Elektrodenpaare bestimmt. Eine durch Änderung der Elektrodenabstände (d1) bewirkte Änderung der Gesamtkapazität des Meßkondensators (Mk) gibt Aufschluß über die zu messende Kraft (F) oder die zu messende Dehnung (ε). Eine Veränderung der Elektrodenabstände durch temperaturbedingte Dehnungen wird dadurch kompensiert, daß in elektrischer Reihenschaltung zum Meßkondensator (Mk) ein identisch ausgebildeter und orthogonal zum Meßkondensator (Mk) angeordneter Kompensationskondensator (Kk) vorgesehen ist, wobei die Befestigungspunkte (Bp3, Bp4) dieses Kondensationskondensators (Kk) so gewählt sind, daß temperaturbedingte Änderungen des Elektrodenabstandes (d1, d3) von Meßkondensator (Mk) und Kompensationskondensator (Kk) umgekehrte Vorzeichen aufweisen.</p> |
