| 发明名称 |
CIRCULATION SYSTEM OF PROCESS CHEMICAL FOR WET STATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR960001721(Y1) |
申请公布日期 |
1996.02.22 |
| 申请号 |
KR19920026462U |
申请日期 |
1992.12.24 |
| 申请人 |
LG SEMICONDUCTOR CO., LTD. |
发明人 |
YEUM, YONG - JOO |
| 分类号 |
H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/302 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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