Endpunktdetektor für Polierarbeiten,申请号DE1991616227-传众专利搜索

发明名称	Endpunktdetektor für Polierarbeiten
摘要
申请公布号	DE69116227(D1)	申请公布日期	1996.02.22
申请号	DE1991616227	申请日期	1991.04.13
申请人	INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US	发明人	LEACH, MICHAEL ALBERT, SOUTH BURLINGTON, VERMONT 05403, US;MACHESNEY, BRIAN JOHN, BURLINGTON, VERMONT 05401, US;NOWAK, EDWARD JOSEPH, ESSEX JUNCTION, VERMONT 05452, US
分类号	H01L21/304;B24B37/013;G01B7/14;H01L21/302;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/30;G01B7/06	主分类号	H01L21/304
代理机构		代理人
主权项
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