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发明名称
摘要
申请公布号	JPH0817173(B2)	申请公布日期	1996.02.21
申请号	JP19930281157	申请日期	1993.11.10
申请人		发明人
分类号	H01L21/205;C03C3/089;C23C16/40;H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
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