发明名称 Verfahren und Anwendung des Verfahrens zur reinigenden Behandlung von Oberflächen mit einem Niederdruckplasma
摘要
申请公布号 DE4228551(C2) 申请公布日期 1996.02.22
申请号 DE19924228551 申请日期 1992.08.27
申请人 LINDE AG, 65189 WIESBADEN, DE 发明人 WANDKE, ERNST, DIPL.-ING. DR.-ING., 82538 GERETSRIED, DE;RIEF, STEPHAN, DIPL.-ING., 81675 MUENCHEN, DE
分类号 B08B7/00;C23G5/00;H05H1/30;(IPC1-7):C23F4/00;B01J19/08;C23F1/12 主分类号 B08B7/00
代理机构 代理人
主权项
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