电子束蒸发器

摘要

一种电子束蒸发器，其特征是施材料制成棒状体，布置在原坩埚7的轴线处构成棒状靶B，该棒状靶B由一个旋转升降机构8带动作旋转和升降运动。同现有技术比较，其优点是：连续蒸镀的时间可提高150倍以上，特别有利于将粉状施镀材料改制为棒料实现长时间连续蒸镀，蒸发方向可任意选择，有利于实现蒸镀工艺产业化。

主权项

1.一种电子束蒸发器，包括支承板[3]、阴极组件[4]，加速极[5]，电磁偏转机构[6]，坩埚[7]以及水冷套[H]，其中阴极组件[4]由带绝缘子的阴极支杆[41]、阴极丝[42]、聚焦极[43]组成，电磁偏转机构[6]由励磁线圈[61]和极靴[62]构成，阴极组件[4]、加速极[5]形成的电子束在极靴[62]间偏转后轰击施镀材料，施镀材料蒸汽沉积在工件表面，其特征在于：设有底盘[1]，支承杆[2]，棒状靶[B]以及旋转升降机构[8]；施镀材料制成棒状体，布置在原坩埚[7]的轴线处构成接受电子束轰击的棒状靶[B]，该棒状靶[B]由旋转升降机构[8]带动作旋转和升降运动。