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发明名称
摘要
申请公布号	JPH0817088(B2)	申请公布日期	1996.02.21
申请号	JP19880116743	申请日期	1988.05.13
申请人		发明人
分类号	C23C14/48;H01J37/02;H01J37/06;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317	主分类号	C23C14/48
代理机构		代理人
主权项
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