发明名称
摘要
申请公布号 JPH0817250(B2) 申请公布日期 1996.02.21
申请号 JP19930208989 申请日期 1993.07.30
申请人 发明人
分类号 C23C14/08;C30B25/02;C30B29/22;H01L39/02;H01L39/22;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/22 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人
主权项
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