发明名称
摘要
申请公布号 JPH0817179(B2) 申请公布日期 1996.02.21
申请号 JP19890061638 申请日期 1989.03.14
申请人 发明人
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331;H01L21/824 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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