发明名称 超声转换器阵列及其制造方法
摘要 超声转换器阵列(10)和制造它的方法,它具有沿着一条阵列轴线(A)排列的多个转换元件(12)。各个转换元件(12)包括压电层(22)和一或多个声学匹配层(24,26)。压电层(22)具有覆盖有前电极(42)的凹进前表面和覆盖有后电极(40)的后表面,各个转换元件(12)的形状得到选择,以使之被机械聚焦到成象平面中。一个支撑部分(80)沿着阵列轴线(A)以预定的方式保持这多个转换元件(12),从而使各个元件(12)被机械聚焦到该成象平面中。
申请公布号 CN1117275A 申请公布日期 1996.02.21
申请号 CN94191059.8 申请日期 1994.01.21
申请人 帕罗尔设计公司 发明人 米歇尔·P·芬斯特维德;约瑟夫·斯蒂芬·道格拉斯;盖伊·R·贾斯特
分类号 B06B1/06 主分类号 B06B1/06
代理机构 北京市中原信达知识产权代理公司 代理人 李强
主权项 1.用于制作超声转换器阵列的方法,包括以下步骤:设置压电基底,该压电基底具有其上覆盖有前电极的凹进前表面,并具有其上覆盖有后电极的后表面;将具有基本上均匀的厚度的声学匹配层加到压电基底的凹进前表面上,以产生中间组件;将该中间组件固定在一个柔性前支撑板上;在压电基底的后表面上,切割出一系列基本上平行的切口,这些切口基本上通过中间组件的压电层和声学匹配层,这些切口形成了沿着一条阵列轴线排列的一系列独立转换元件;通过使这些层抵抗柔性前支撑板的偏置力而绕着基本上与该阵列轴线垂直的一条轴线弯曲,使平行切割的中间组件具有所希望的形状;将一种支撑材料加到该中间组件的压电基底的后表面上;以及除去前支撑板,以给出超声转换器阵列。
地址 美国亚利桑那