发明名称 THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0849076(A) 申请公布日期 1996.02.20
申请号 JP19940178957 申请日期 1994.07.29
申请人 SONY CORP;SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD 发明人 UCHIYAMA HIROSHI;SHUDO HIROSHI;ASANO KATSUAKI;YAMAZAKI SHUNPEI;ITO KENJI
分类号 C30B25/14;C23C16/26;C23C16/50;C23C16/505;C30B29/04;G11B5/84;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/26 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
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